Τεχνικές απαιτήσεις για εξοπλισμό επίστρωσης κενού για ηλεκτρικούς σωλήνες θέρμανσης

Τεχνικές απαιτήσεις για εξοπλισμό επίστρωσης κενού για ηλεκτρικούς σωλήνες θέρμανσης

1. Η δομή των σωλήνων κενού και των στατικών εξαρτημάτων στεγανοποίησης (φλάντζες, δακτύλιοι στεγανοποίησης κ.λπ.) στον εξοπλισμό των κατασκευαστών ηλεκτρολυτικής επιμετάλλωσης κενού πρέπει να πληροί τις απαιτήσεις του GB/T6070.

2. Ο κατασκευαστής επιμετάλλωσης κενού θα πρέπει να εγκαταστήσει μετρητές κενού στους αγωγούς χαμηλού και υψηλού κενού και στον θάλαμο επικάλυψης κενού για τη μέτρηση του βαθμού κενού κάθε τμήματος αντίστοιχα. Όταν διαπιστωθεί ότι το ηλεκτρικό πεδίο παρεμβαίνει στη μέτρηση, θα πρέπει να εγκατασταθεί μια διάταξη θωράκισης ηλεκτρικού πεδίου στη θύρα μέτρησης.

3. Εάν η κύρια αντλία που χρησιμοποιείται από τον εξοπλισμό είναι αντλία διάχυσης, θα πρέπει να εγκατασταθεί μια παγίδα ατμών λαδιού στο πλάι της εισόδου αέρα της αντλίας.

4. Το δωμάτιο επίστρωσης του εξοπλισμού θα πρέπει να είναι εξοπλισμένο με παράθυρο παρατήρησης και διάταξη διαφράγματος. Το παράθυρο παρατήρησης θα πρέπει να μπορεί να παρατηρεί την κατάσταση λειτουργίας της πηγής εναπόθεσης και άλλων βασικών εξαρτημάτων.

5. Ο σχεδιασμός της πηγής εναπόθεσης επίστρωσης ιόντων θα πρέπει να βελτιώνει όσο το δυνατόν περισσότερο τον ρυθμό ιονισμού κατά τη διαδικασία επικάλυψης, να βελτιώνει τον ρυθμό χρήσης του υλικού επικάλυψης, να ταιριάζει εύλογα με την ισχύ της πηγής εναπόθεσης και να τακτοποιεί εύλογα τη θέση της εναπόθεσης πηγή στο σώμα του θαλάμου κενού.

6. Τοποθετήστε εύλογα τη συσκευή θέρμανσης. Γενικά, η δομή και η διάταξη του θερμαντήρα πρέπει να κάνουν την αύξηση της θερμοκρασίας του επιμεταλλωμένου τεμαχίου εργασίας ομοιόμορφη και συνεπή.

7. Η θήκη του τεμαχίου εργασίας πρέπει να είναι μονωμένη από το σώμα του θαλάμου κενού και ο σχεδιασμός της βάσης του τεμαχίου εργασίας πρέπει να κάνει το στρώμα μεμβράνης του τεμαχίου εργασίας ομοιόμορφο.

8. Ο εξοπλισμός επίστρωσης ιόντων θα πρέπει γενικά να έχει αρνητική προκατάληψη του τεμαχίου εργασίας και τροφοδοτικό βομβαρδισμού ιόντων. Το τροφοδοτικό βομβαρδισμού ιόντων θα πρέπει να διαθέτει μια συσκευή για την καταστολή της μη φυσιολογικής εκφόρτισης για τη διατήρηση σταθερής λειτουργίας.

9. Το μέγεθος της αντίστασης μόνωσης μεταξύ των τμημάτων του θαλάμου κενού που συνδέονται με διαφορετικά δυναμικά είναι σύμφωνα με το 4.4.6 σε GB/T11164-1999

www.superbheater.com