Μινιατούρα αισθητήρα και τεχνολογία τσιπ

Το μικρο-ηλεκτρο-μηχανικό σύστημα (MEMS) είναι ένα μικρο-σύστημα ή συσκευή που ενσωματώνει μικρο-μηχανισμούς, μικροαισθητήρες, μικρο-ενεργοποιητές, κυκλώματα ελέγχου, επεξεργασία σήματος, επικοινωνία, διεπαφές, τροφοδοτικά κλπ.

Η τεχνολογία MEMS περιλαμβάνει: Τεχνολογία μικρο-τεχνολογίας πυριτίου, χάραξη βαθιάς αντιδραστικής ιόντων, τεχνολογία Liga, τεχνολογία μοριακής συναρμολόγησης, χύδην μικρο-micromachining, επιφανειακή μικρο-micromachining, τεχνολογία μικρο-συσκευασίας λέιζερ και μικρο-συσκευασίας.

Η τεχνολογία μικρομεταξίας πυριτίου είναι η κύρια τεχνολογία των MEMS. Πρόκειται για μια τρισδιάστατη τεχνολογία επεξεργασίας ακριβείας. Πρόκειται για μια τεχνολογία για την ανάπτυξη αισθητήρων, μικρο-ενεργοποιητών, μικρο-ενεργοποιητών και μικρο-μηχανικών συστημάτων. Έχει χρησιμοποιηθεί με επιτυχία για την κατασκευή διαφόρων μικρο-αισθητήρων και πολυλειτουργικών συστοιχιών ευαίσθητων στοιχείων. Όπως αισθητήρες μικρο-σιλικόν, αισθητήρες μάζας μάζας μικρο-σιλικόν, δυναμικοί αισθητήρες και μικρο-αισθητήρες για αεροδιαστημική, αισθητήρες πίεσης και επιτάχυνσης του περιβάλλοντος, μικρο-χημικούς αισθητήρες κλπ.

Τεχνολογία ενσωμάτωσης συστοιχιών αισθητήρων και σύνθετων παραμέτρων πολλαπλών ανίχνευσης

Η ενσωμάτωση αναφέρεται στην ενσωμάτωση λειτουργιών πολλαπλών ανίχνευσης με επεξεργασία δεδομένων, αποθήκευση, αμφίδρομη επικοινωνία κ.λπ. όπως πίεση, στατική πίεση, αισθητήρα τριών μεταβλητών θερμοκρασίας. πίεση αέρα, δύναμη αιολικής ενέργειας, θερμοκρασία, υγρασία τεσσάρων μεταβλητών αισθητήρα. Ο αισθητήρας πίεσης και ο αισθητήρας συστοιχίας μικρο σιλικόνων και ο αισθητήρας συστοιχίας κλπ. Διαδικασία ενσωμάτωσης και πολλαπλών μεταβλητών σύνθετου αισθητήρα μικροδομής ολοκληρωμένη διαδικασία κατασκευής, όπως πίεση, στατική πίεση, θερμοκρασία τριών μεταβλητών αισθητήρα, πίεση αέρα, δύναμη ανέμου, θερμοκρασία, υγρασία τεσσάρων μεταβλητών αισθητήρα, σύνθετος αισθητήρας πίεσης μικρο πυριτίου, αισθητήρα συστοιχίας.

Υπάρχουν δύο τύποι ενσωμάτωσης αισθητήρων: το ένα είναι να δημιουργήσετε πολλαπλές μονάδες αισθητήρων σε ένα τσιπ μέσω τεχνολογίας μικρο-μηχανής για να σχηματίσουν έναν γραμμικό αισθητήρα (όπως ο αισθητήρας εικόνας CCD). Το άλλο είναι να δημιουργηθεί ευαίσθητα εξαρτήματα με διαφορετικές λειτουργίες στο ίδιο τσιπ πυριτίου για να δημιουργηθεί ένας ενσωματωμένος πολυλειτουργικός αισθητήρας με υψηλή ενσωμάτωση, μικρό μέγεθος και εύκολη αποζημίωση και διόρθωση.