Τοπική συγκέντρωση ρεύματος σε μηχανή επίστρωσης κενού
Αφήστε ένα μήνυμα
Τοπική συγκέντρωση ρεύματος σε μηχανή επίστρωσης κενού
Το εκτοξευόμενο τμήμα του σημείου υψηλής πυκνότητας ηλεκτρονίων θα δημιουργήσει ρεύμα υψηλής πυκνότητας και το ρεύμα υψηλής πυκνότητας μπορεί να δημιουργήσει θερμότητα Joule και να κάνει τη θερμοκρασία του σημείου να συνεχίσει να αυξάνεται, εκπέμποντας θερμά ηλεκτρόνια. Αυτό το φαινόμενο έχει ως αποτέλεσμα μια τοπική συγκέντρωση ρεύματος.
Η θερμότητα Joule που παράγεται από την τοπική συγκέντρωση του ρεύματος μπορεί να προκαλέσει μαζική εκπομπή ιόντων και ηλεκτρονίων από το υλικό της καθόδου, απελευθερώνοντας σωματίδια λιωμένου υλικού καθόδου και αφήνοντας ίχνη εκκένωσης.
Μέρος των ιόντων σε μεγάλο αριθμό ιόντων που εκτοξεύονται θα αναρροφηθεί πίσω στην επιφάνεια του υλικού της καθόδου για να αναγεννηθεί το στρώμα φορτίου χώρου και το ισχυρό ηλεκτρικό πεδίο και το νεοδημιουργούμενο σημείο με μια μικρή συνάρτηση εργασίας θα αρχίσει να εκπέμπει ξανά ηλεκτρόνια .
Τα ηλεκτρόνια εκπέμπονται από τα όρια κόκκων των επιστρώσεων κενού
Τα μεταλλικά ιόντα έλκονται στην επιφάνεια της καθόδου και μπορούν να δημιουργήσουν ένα στρώμα διαστημικού φορτίου. Το ισχυρό ηλεκτρικό πεδίο που ενεργοποιείται κατά τη διάρκεια αυτής της περιόδου προκαλεί την εκτόξευση ηλεκτρονίων από μικρορωγμές ή όρια κόκκων με μικρή λειτουργία εργασίας στην επιφάνεια της καθόδου.
Εσωτερικό τοίχωμα κενού και άνοδος πηγής στόχου της μηχανής επίστρωσης κενού
Μετά από πολλές συγκρούσεις, η ενέργεια των ηλεκτρονίων σταδιακά μειώνεται, απαλλάσσεται από τα δεσμά των γραμμών του μαγνητικού πεδίου και τελικά πέφτει στο υπόστρωμα, στο εσωτερικό τοίχωμα του θαλάμου κενού και στην άνοδο της πηγής στόχου. Υπό την επιτάχυνση του ηλεκτρικού πεδίου υψηλής τάσης, τα ιόντα Ar συν συγκρούονται με τον στόχο και απελευθερώνουν ενέργεια, αναγκάζοντας τα άτομα στην επιφάνεια του στόχου να απορροφούν την κινητική ενέργεια των ιόντων Ar συν και να αποσπώνται από το αρχικό πλέγμα. και τα ουδέτερα άτομα στόχου διαφεύγουν από την επιφάνεια του στόχου. Πετάξτε μέχρι το υπόστρωμα και απλώστε μια λεπτή μεμβράνη στο υπόστρωμα.
www.superbheater.com
