Πώς να μετρήσετε το πάχος του φιλμ της μηχανής επίστρωσης κενού;
Αφήστε ένα μήνυμα
Πώς να μετρήσετε το πάχος του φιλμ της μηχανής επίστρωσης κενού;
Αφού χρησιμοποιήσετε τη μηχανή επικάλυψης κενού για την επίστρωση της μεμβράνης, μπορεί να χρειαστεί να μετρήσετε το πάχος της στρώσης μεμβράνης. Ποια μέθοδος χρησιμοποιείται για τη μέτρηση του πάχους του στρώματος μεμβράνης;
Η πιο άμεση μέθοδος ελέγχου επίστρωσης είναι η μέθοδος Micro-Balance Crystal Quartz (QCM). Αυτό το όργανο μπορεί να οδηγήσει απευθείας την πηγή εξάτμισης και να οδηγήσει το διάφραγμα μέσω του ελέγχου PID για να διατηρήσει τον ρυθμό εξάτμισης.
Εφόσον το όργανο είναι συνδεδεμένο με το λογισμικό ελέγχου συστήματος, μπορεί να ελέγξει ολόκληρη τη διαδικασία επίστρωσης. Αλλά η ακρίβεια του (QCM) είναι περιορισμένη, εν μέρει επειδή παρακολουθεί την ποιότητα της επίστρωσης που εναποτίθεται και όχι το οπτικό της πάχος.
Επίσης, ενώ το QCM είναι πολύ σταθερό σε χαμηλότερες θερμοκρασίες, γίνεται πολύ ευαίσθητο στη θερμοκρασία σε υψηλότερες θερμοκρασίες. Κατά τη διάρκεια παρατεταμένης θέρμανσης, είναι δύσκολο να αποτραπεί η πτώση του αισθητήρα σε αυτήν την ευαίσθητη περιοχή, προκαλώντας σημαντικά σφάλματα στο φιλμ.
Η οπτική παρακολούθηση είναι η προτιμώμενη μέθοδος παρακολούθησης για επιστρώσεις υψηλής ακρίβειας, επειδή επιτρέπει πιο ακριβή έλεγχο του πάχους του στρώματος (εάν χρησιμοποιείται σωστά).
Η βελτίωση της ακρίβειας πηγάζει από πολλούς παράγοντες, αλλά ο πιο θεμελιώδης είναι η παρακολούθηση του οπτικού πάχους.
Εάν η αντλία διάχυσης έχει χρησιμοποιηθεί συνεχώς για περισσότερους από 6 μήνες, η ταχύτητα άντλησης είναι προφανώς επιβραδύνεται ή η λειτουργία είναι ακατάλληλη. Γεμίστε τον αέρα στην ατμόσφαιρα, αφαιρέστε το συνδετικό σωλήνα νερού, αφαιρέστε την ηλεκτρική κουζίνα και ξεβιδώστε το ακροφύσιο πρώτου επιπέδου. Πλύνετε τη χοληδόχο κύστη μία φορά, στη συνέχεια πλύντε τη με σκόνη πλυσίματος αναμεμειγμένη με νερό και στη συνέχεια καθαρίστε την καλά με νερό. Αφού εξατμιστεί και στεγνώσει το νερό, εγκαταστήστε τη χοληδόχο κύστη της αντλίας, προσθέστε νέο λάδι αντλίας διάχυσης και τοποθετήστε το ξανά στο σώμα, συνδέστε το σωλήνα νερού και εγκαταστήστε τον ηλεκτρικό κλίβανο. δίσκο, μπορείτε να κάνετε επανεκκίνηση. Πριν από την επανεκκίνηση, δώστε προσοχή στον εντοπισμό διαρροών. Η μέθοδος είναι: εκκινήστε την αντλία συντήρησης, κλείστε την πόρτα και μετά από λίγα λεπτά, παρατηρήστε εάν ο βαθμός κενού της αντλίας διάχυσης φτάνει τα 6X10 Pa, διαφορετικά είναι απαραίτητο να πραγματοποιήσετε ανίχνευση διαρροής.
www.superbheater.com
