Πώς πιστοποιούνται οι θερμαντικές πλάκες για να πληρούν τα πρότυπα SEMI για εξοπλισμό κατασκευής ημιαγωγών;

Η κατασκευή ημιαγωγών απαιτεί μεγάλη καθαριότητα και καθαρότητα υλικών. Οι θερμαντικές πλάκες που χρησιμοποιούνται στον εξοπλισμό επεξεργασίας πλακιδίων πρέπει να πληρούν πολύ αυστηρά κριτήρια SEMI, τα οποία υπερβαίνουν κατά πολύ τη βασική ηλεκτρική ασφάλεια και περιλαμβάνουν την εξάτμιση αερίων, την παραγωγή σωματιδίων και τη συμβατότητα υλικών.

Τι είναι τα πρότυπα SEMI
Η SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) είναι μια διεθνής εμπορική ένωση που δημιουργεί πρότυπα για τη διασφάλιση της ποιότητας, της ασφάλειας και της περιβαλλοντικής συμβατότητας του εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών. Αυτά τα κριτήρια είναι απαραίτητα για την καθαριότητα και τις επιδόσεις που απαιτούνται στην κατασκευή ημιαγωγών. Τα πρότυπα SEMI καλύπτουν ένα ευρύ φάσμα θεμάτων, συμπεριλαμβανομένης της ασφάλειας εξοπλισμού (S2), της περιβαλλοντικής συμβατότητας (S8) και των ειδικών απαιτήσεων υλικού-. Όταν πρόκειται για θερμαντικές πλάκες, η συμμόρφωση SEMI σημαίνει ότι πληρούν τα υψηλά πρότυπα καθαρότητας που απαιτούνται για την παραγωγή ημιαγωγών.

Κλειδί προτύπων SEMI για πλάκες θέρμανσης
SEMI S2 - Ασφάλεια εξοπλισμού
Το SEMI S2 θεσπίζει γενικούς κανόνες ασφαλείας για τον εξοπλισμό ημιαγωγών για να διασφαλίσει ότι οι θερμαντικές πλάκες είναι ασφαλείς για χρήση σε κατασκευαστικό περιβάλλον. Το πρότυπο καλύπτει την ηλεκτρική ασφάλεια, τη μηχανική ακεραιότητα και τη γενική λειτουργία του εξοπλισμού.

SEMI S3 - Οδηγίες ασφάλειας για θερμαινόμενα χημικά λουτρά
Το SEMI S3 αφορά την ασφάλεια εξοπλισμού σε θερμαινόμενα χημικά λουτρά. Αυτό το πρότυπο εγγυάται ότι οι θερμαντικές πλάκες, που χρησιμοποιούνται σε συστήματα χημικής επεξεργασίας, δεν ενέχουν κινδύνους ασφαλείας ή λειτουργικές ανεπάρκειες. Περιλαμβάνει επίσης υλικά και δομή για την αποφυγή μόλυνσης από το ζεστό χημικό διάλυμα.

SEMI F57 - Προδιαγραφή για πολυμερή υλικά σε συστήματα υπερκαθαρού νερού και υγρών χημικών
Το SEMI F57 ορίζει τα πρότυπα για πολυμερή υλικά, συμπεριλαμβανομένων των επικαλύψεων σε θερμαντικές πλάκες, σε επαφή με εξαιρετικά καθαρό νερό και υγρά χημικά. Αυτό το πρότυπο διασφαλίζει ότι τα υλικά που χρησιμοποιούνται στον εξοπλισμό παραγωγής ημιαγωγών είναι συμβατά με εξαιρετικά-καθαρά υγρά και δεν επηρεάζουν την καθαρότητα της διαδικασίας.

Πρότυπα πιστοποίησης για θερμαντικές πλάκες
Οι θερμαντικές πλάκες σε εξοπλισμό ημιαγωγών απαιτείται να ελέγχονται αυστηρά σύμφωνα με τα πρότυπα SEMI. Αυτές οι δοκιμές σχετίζονται με τις ιδιότητες του υλικού, την αντοχή σε ρύπους και τη χημική συμβατότητα:

Εξαερίωση (ASTM E 595)
Η εξαγωγή αερίων είναι η εκπομπή πτητικών χημικών ουσιών από τα υλικά της θερμαντικής πλάκας κατά τη θέρμανση. Στην κατασκευή ημιαγωγών, η μόλυνση στο περιβάλλον του καθαρού δωματίου μπορεί να οδηγήσει σε βλάβες στις συσκευές ημιαγωγών ακόμη και από μικροσκοπικά επίπεδα εκροής αερίων. Οι θερμαντικές πλάκες από υλικά όπως επικαλύψεις PTFE και PFA πρέπει να ελέγχονται για εκροή αερίων σύμφωνα με τις απαιτήσεις ASTM E595 ώστε να διασφαλίζεται ότι δεν απελευθερώνουν επικίνδυνες ενώσεις κατά τη λειτουργία.

Πτώση σωματιδίων-από
Οι θερμαντικές πλάκες θα πρέπει να κατασκευάζονται έτσι ώστε να ελαχιστοποιείται η δημιουργία σωματιδίων που μπορεί να μολύνουν τη γκοφρέτα ή τις χημικές εργασίες. Οποιοδήποτε υλικό μπορεί να έρθει σε επαφή με ρευστά διεργασίας πρέπει να εξετάζεται για να διασφαλιστεί ότι δεν αποβάλλει σωματίδια σε επίπεδα που θα παρεμποδίσουν τις ευαίσθητες διαδικασίες κατασκευής στα εξαρτήματα ημιαγωγών.

Αντοχή σε χημικά διεργασιών
Οι θερμαντικές πλάκες στην κατασκευή ημιαγωγών συχνά υποβάλλονται σε εχθρικές ουσίες όπως οξέα, διαλύτες και υπερκαθαρό νερό. Αυτά τα υλικά πρέπει να είναι ανθεκτικά στη διάβρωση και ανθεκτικά στην υποβάθμιση υπό τις μοναδικές συνθήκες της διαδικασίας παραγωγής ημιαγωγών. Οι επικαλύψεις PTFE και PFA χρησιμοποιούνται ευρέως σε θερμαντικές πλάκες λόγω της ανώτερης χημικής τους αντοχής, διασφαλίζοντας τη διατήρηση της ακεραιότητας της επιφάνειας θέρμανσης χωρίς την εισαγωγή ρύπων.

Πρότυπα SEMI για θερμαινόμενες πλάκες και τσοκ Σημαντικά πρότυπα SEMI Ασφάλεια εξοπλισμού SEMI S{0}} (Γενικές απαιτήσεις ασφάλειας)

Οδηγίες ασφαλείας SEMI S3 - για χημικό θερμαντήρα μπάνιου

SEMI F57 - Προδιαγραφές για πολυμερή υλικά σε εξαιρετικά καθαρό νερό και υγρά χημικά συστήματα

Μέθοδος δοκιμής εξαγωγής αερίων ASTM E595

SEMI F47 – Συνιστώμενες πρακτικές για εξοπλισμό κατασκευής ημιαγωγών

Σύναψη
Το SEMI είναι ένα πρότυπο ότι οι θερμαντικές πλάκες που χρησιμοποιούνται σε εξοπλισμό ημιαγωγών πρέπει να πληρούν τα πρότυπα καθαρότητας και ασφάλειας της βιομηχανίας ημιαγωγών. Οι θερμαντικές πλάκες είναι πιστοποιημένες χωρίς μόλυνση από μέταλλο, ελαχιστοποιούν την απόρριψη σωματιδίων και πληρούν τους κανονισμούς εξαγωγής αερίων για την προστασία της διαδικασίας παραγωγής ημιαγωγών. Οι εξειδικευμένοι τομείς αναπτύσσουν τα δικά τους ειδικά πρότυπα για να ικανοποιήσουν τις ιδιαίτερες τεχνικές τους ανάγκες. Η συμμόρφωση με αυτά τα πρότυπα διασφαλίζει ότι ο εξοπλισμός πληροί τις αυστηρές,{3}}απαιτήσεις υψηλών επιδόσεων της βιομηχανίας ημιαγωγών.