Κοινά χαρακτηριστικά των μηχανών επάργυρης κενού και επικάλυψης μαγνητρόν
Αφήστε ένα μήνυμα
Κοινά χαρακτηριστικά των μηχανών επάργυρης κενού και επικάλυψης μαγνητρόν
Ο ψεκασμός μαγνητρόν της μηχανής επίστρωσης μαγνητρόν έχει μια ποικιλία αρχών εργασίας και αντικειμένων εφαρμογής. Όμως, όλα έχουν ένα κοινό: Η αλληλεπίδραση των μαγνητικών και ηλεκτρικών πεδίων κάνει τα ηλεκτρόνια να περιστρέφονται γύρω από την επιφάνεια στόχο, αυξάνοντας την πιθανότητα τα ηλεκτρόνια να χτυπήσουν το αργό για να παράγουν ιόντα. Τα παραγόμενα ιόντα συγκρούονται με την επιφάνεια του στόχου υπό τη δράση ενός ηλεκτρικού πεδίου, εκτοξεύοντας έτσι τον στόχο.
Η πηγή στόχος της μηχανής επικάλυψης magnetron μπορεί να χωριστεί σε ισορροπημένο τύπο και μη ισορροπημένο τύπο. Η ισορροπημένη επίστρωση πηγής στόχου είναι ομοιόμορφη και η μη ισορροπημένη επίστρωση πηγής στόχου έχει ισχυρή πρόσφυση στο υπόστρωμα. Οι ισορροπημένες πηγές στόχου χρησιμοποιούνται κυρίως για οπτικές μεμβράνες ημιαγωγών και οι μη ισορροπημένες πηγές στόχου χρησιμοποιούνται κυρίως για τη χρήση διακοσμητικών μεμβρανών. Οι κάθοδοι μαγνητρονίου μπορούν χονδρικά να χωριστούν σε κάθοδοι μαγνητρονίου ισορροπημένες και μη ισορροπημένες σύμφωνα με διαφορετικές διαμορφώσεις μαγνητικού πεδίου. Η μαγνητική ροή του μαγνητικού χάλυβα μέσα και έξω από την κάθοδο του ισορροπημένου μαγνητρονίου είναι περίπου ίση και οι διπολικές γραμμές μαγνητικού πεδίου είναι κλειστές στην επιφάνεια στόχο, γεγονός που μπορεί να περιορίσει τα ηλεκτρόνια/πλάσμα κοντά στην επιφάνεια στόχο, αυξάνοντας την πιθανότητα σύγκρουσης και βελτιώνουν την απόδοση ιονισμού.
Ασημένια επένδυση κενού Κάθε σύστημα μπορεί να εκτελέσει διαφορετική λειτουργία
Μια πλήρης μηχανή επικάλυψης κενού με ψεκασμό Magnetron αποτελείται από πολλαπλά μέρη, κάθε σύστημα μπορεί να ολοκληρώσει διαφορετικές λειτουργίες και τελικά να επιτύχει την τελική επίστρωση υψηλής ποιότητας. Ο εξοπλισμός επίστρωσης με διασκορπισμό μαγνητρόν αποτελείται από θαλάμους κενού, βαλβίδες και συστήματα απόκτησης κενού. , σύστημα μέτρησης κενού, στόχος καθόδου, σύστημα ηλεκτρικού ελέγχου και άλλα εξαρτήματα.
Το κύριο σώμα της επικάλυψης με διασκορπισμό magnetron είναι ένας θάλαμος κενού και το μέγεθος του θαλάμου κενού καθορίζεται από το μέγεθος του υποστρώματος του προϊόντος και την χωρητικότητα του χρήστη. Η κοιλότητα είναι κατασκευασμένη από ανοξείδωτο χάλυβα SUS304, το πλεονέκτημα είναι ότι δεν σκουριάζει εύκολα, είναι πιο ανθεκτικό από τον ανθρακούχο χάλυβα και είναι εύκολο στη συντήρηση. Υπάρχουν πολλά είδη μεθόδων επίστρωσης με διασκορπισμό μαγνητρόν, που χρησιμοποιούνται συνήθως επιμετάλλωση ιόντων πολλαπλών τόξων, επίστρωση ελέγχου ενδιάμεσης συχνότητας κ.λπ. χρόνος. υλικό συστατικού.
www.superbheater.com
