Μέθοδος καθαρισμού και μέθοδος συσκευής μηχανής καθαρισμού υπερήχων μονοκρυσταλλικού πυριτίου

Μέθοδος καθαρισμού και μέθοδος συσκευής μηχανής καθαρισμού υπερήχων μονοκρυσταλλικού πυριτίου

Με την ανάπτυξη της τεχνολογίας υλικών ημιαγωγών, τίθενται επίσης υψηλότερες απαιτήσεις για τις προδιαγραφές και την ποιότητα των πλακών πυριτίου. Η ζήτηση της αγοράς για γκοφρέτες πυριτίου μεγάλης διαμέτρου κατάλληλες για μικροεπεξεργασία θα αυξάνεται ολοένα και περισσότερο. Ημιαγωγός, τσιπ, ολοκληρωμένο κύκλωμα, σχεδιασμός, διάταξη, τσιπ, κατασκευή και διαδικασία Επί του παρόντος, προηγμένες διαδικασίες κοπής, λείανσης, στίλβωσης και καθαρής συσκευασίας χρησιμοποιούνται ευρέως στον κόσμο, σημειώνοντας σημαντική πρόοδο στην τεχνολογία παραγωγής. Με την εισαγωγή της τελευταίας τεχνολογίας αιχμής, η δοκιμαστική παραγωγή και ανάπτυξη τσιπ υψηλής απόδοσης όπως το SOI έχει επίσης εισέλθει στο στάδιο της μαζικής παραγωγής. Σε απάντηση, οι κατασκευαστές πλακιδίων πυριτίου αύξησαν επίσης τις επενδύσεις τους σε εξοπλισμό για γκοφρέτες πυριτίου 300 mm για να βελτιώσουν περαιτέρω τους κανόνες σχεδιασμού. Χρησιμοποιώντας την τεχνολογία καθαρισμού υπερήχων, κατά τη διαδικασία καθαρισμού, η συχνότητα υπερήχων σαρώνει εμπρός και πίσω σε εύλογο εύρος, οδηγώντας το υγρό καθαρισμού σε μια λεπτή παλινδρόμηση, επιτρέποντας τη γρήγορη απομάκρυνση της βρωμιάς από την επιφάνεια του τεμαχίου εργασίας ενώ αποφλοιώνεται με υπερήχους, βελτιώνοντας τον καθαρισμό αποδοτικότητα.

Μέθοδος καθαρισμού και μέθοδος συσκευής

Τοποθετήστε τις πλυμένες και αλεσμένες γκοφρέτες σιλικόνης οριζόντια στο πλαίσιο της ράβδου χαλαζία σε σχήμα φράχτη πάνω από το κάτω μέρος της δεξαμενής καθαρισμού. Υπό την προϋπόθεση να διασφαλίσετε ότι υπάρχει υψηλό επίπεδο απιονισμένου νερού και συνεχής ροή στη δεξαμενή καθαρισμού, χρησιμοποιήστε έναν δονητή υπερήχων που βρίσκεται στο κάτω μέρος της δεξαμενής καθαρισμού για τον καθαρισμό. Η συχνότητα υπερήχων είναι 40KHz. Αναποδογυρίζετε τις αλεσμένες γκοφρέτες σιλικόνης κάθε 5 λεπτά και συνεχίζετε το υπερβολικό πλύσιμο μέχρι να μην αναδύονται μαύροι ρύποι από την επιφάνεια των αλεσμένων γκοφρετών πυριτίου που πλένονται υπερβολικά.

Το κάτω τοίχωμα του πλαισίου μονοκρυσταλλικού πυριτίου στη συσκευή είναι μια ράβδος χαλαζία σε σχήμα φράχτη και ολόκληρο το πλαίσιο στηρίζεται στη δεξαμενή καθαρισμού με πόδια στήριξης. Μετά την κατακόρυφη και οριζόντια υπερπλύση της παρούσας εφεύρεσης, λύνει το πρόβλημα της τοπικής δυσκολίας στον καθαρισμό λόγω της άνισης απόστασης μεταξύ της γκοφρέτας πυριτίου και της πηγής υπερήχων και της εύκολης συσσώρευσης ρύπων στο κάτω μέρος της επιφάνειας του πυριτίου. όστια. Εξαλείφει επίσης το φαινόμενο ότι το μαλακό καλάθι λουλουδιών από πολυτετραφθορο υλικό που φέρει τη γκοφρέτα πυριτίου μπορεί να απορροφήσει και να εμποδίσει τη μετάδοση της πηγής κυμάτων υπερήχων, με αποτέλεσμα οι τοπικές περιοχές στην επιφάνεια της γκοφρέτας πυριτίου να είναι ακάθαρτες.

www.superbheater.com