Ταξινόμηση και πεδίο εφαρμογής της μηχανής επίστρωσης κενού
Αφήστε ένα μήνυμα
Ταξινόμηση και πεδίο εφαρμογής της μηχανής επίστρωσης κενού
Συνήθως η μέθοδος απαέρωσης του τεμαχίου προς κατεργασία που χρησιμοποιούμε είναι το ψήσιμο και το αέριο και η υγρασία στο τεμάχιο αποβάλλονται με θέρμανση. Πριν από την επίστρωση, το τεμάχιο εργασίας θερμαίνεται κατά την άντληση. Μαζί με το αέριο στον θάλαμο κενού, αντλείται από την αντλία κενού.
Λαμβάνονται διαφορετικά μέτρα απαέρωσης για διαφορετικά τεμάχια εργασίας για τον αποτελεσματικό έλεγχο της εκπομπής αερίου και υγρασίας στο εσωτερικό του τεμαχίου εργασίας και τη βελτίωση της σταθερότητας και της ομοιομορφίας της επίστρωσης. Ταξινόμηση και πεδίο εφαρμογής της μηχανής επίστρωσης κενού Η μηχανή επίστρωσης κενού αναφέρεται κυρίως σε έναν τύπο επίστρωσης που πρέπει να εκτελείται υπό υψηλό κενό, συμπεριλαμβανομένων πολλών τύπων, όπως εξάτμιση ιόντων κενού, διασκορπισμός μαγνητρονίου, επιταξία μοριακής δέσμης MBE, εναπόθεση με ψεκασμό με λέιζερ PLD Και τόσα είδη.
Η πιθανότητα της μηχανής επίστρωσης υπό κενό εξαρτάται από τις φυσικές ιδιότητες του ίδιου του τεμαχίου εργασίας
Μερικά τεμάχια έχουν πολλά αέρια, υγρασία κ.λπ. από μόνα τους. Αυτές οι ουσίες θα εκκενωθούν στον θάλαμο κενού όταν ο εξοπλισμός θερμανθεί, μειώνοντας τον βαθμό κενού. Επιπλέον, ορισμένα αέρια έχουν τοξικά συστατικά, τα οποία βλάπτουν άμεσα τον θάλαμο κενού. Η εσωτερική μηχανική δομή κάνει τον εξοπλισμό να μην λειτουργεί σωστά. Επιπλέον, κατά τη διαδικασία επίστρωσης, λόγω της θέρμανσης και της διαστολής του αερίου στο τεμάχιο εργασίας, είναι εύκολο να σπάσει η επικαλυμμένη μεμβράνη. Φυσικά, η πιθανότητα αυτής της κατάστασης εξαρτάται από τις φυσικές ιδιότητες του ίδιου του τεμαχίου εργασίας, όπως πλαστικά που διαστέλλονται εύκολα, η πιθανότητα είναι σχετικά υψηλή. Για σκληρά υλικά όπως το μέταλλο, η πιθανότητα είναι σχετικά χαμηλή, αλλά δεν μπορεί να αγνοηθεί, επομένως η απαέρωση του τεμαχίου εργασίας είναι πολύ απαραίτητη.
Η κατάσταση κενού είναι το περιβάλλον που υποστηρίζει τη λειτουργία της μηχανής επίστρωσης κενού, ειδικά του εξοπλισμού που απαιτεί υψηλό βαθμό κενού. Συνήθως χρειάζεται να πετύχουμε υψηλό βαθμό κενού. Ο ρόλος του συστήματος εξαγωγής αέρα είναι απαραίτητος, αλλά εκτός από το σύστημα εξαγωγής αέρα, στον εξοπλισμό επίστρωσης κενού Στη διαδικασία λειτουργίας, ένα άλλο σημείο είναι η απαέρωση του τεμαχίου εργασίας.
www.superbheater.com
