Χαρακτηριστικά της επίστρωσης PVD του επιστρωτή κενού

Χαρακτηριστικά της επίστρωσης PVD του επιστρωτή κενού

Η επίστρωση πολλαπλών τόξων και η επίστρωση με ψεκασμό μαγνητρόν έχουν τα δικά τους πλεονεκτήματα και μειονεκτήματα. Προκειμένου να ασκήσουν τα αντίστοιχα πλεονεκτήματά τους όσο το δυνατόν περισσότερο και να επιτύχουν τη συμπληρωματικότητα, μια μηχανή επίστρωσης που συνδυάζει την τεχνολογία πολλαπλών τόξων και την τεχνολογία μαγνητρονίου εμφανίζεται όπως απαιτούν οι καιροί. Στη διαδικασία, υπάρχει μια νέα μέθοδος ασταριού επιμετάλλωσης πολλαπλών τόξων, στη συνέχεια με χρήση ψεκασμού μαγνητρόν για την πάχυνση της επίστρωσης και, τέλος, με επιμετάλλωση πολλαπλών τόξων για να επιτευχθεί το τελικό σταθερό χρώμα επίστρωσης επιφάνειας.

Γύρω στα μέσα έως τα τέλη της δεκαετίας του 1980, εμφανίστηκε η επιμετάλλωση ιόντων εξάτμισης με πιστόλι ηλεκτρονίων θερμής καθόδου και η μηχανή επικάλυψης πλάσματος μαγνητρόν τόξου θερμής καθόδου, και το αποτέλεσμα εφαρμογής ήταν πολύ καλό, έτσι ώστε τα εργαλεία επίστρωσης TiN έγιναν γρήγορα δημοφιλή. Μεταξύ αυτών, το πιστόλι ηλεκτρονίων θερμής καθόδου χρησιμοποιείται για την εξάτμιση της επιμετάλλωσης ιόντων, το χωνευτήριο χαλκού χρησιμοποιείται για τη θέρμανση και τήξη του επιμεταλλωμένου μεταλλικού υλικού, το νήμα τανταλίου χρησιμοποιείται για τη θέρμανση και την απαέρωση του τεμαχίου εργασίας και το πιστόλι ηλεκτρονίων χρησιμοποιείται για την ενίσχυση της ρυθμός ιοντισμού. Η αντοχή και η αντοχή στη φθορά είναι όλα καλά και είναι δύσκολο να αφαιρεθεί ακόμη και με λείανση. Αλλά αυτές οι συσκευές είναι κατάλληλες μόνο για επίστρωση TiN ή καθαρό μεταλλικό λεπτό φιλμ. Για επιστρώσεις πολλαπλών στρωμάτων ή σύνθετες επικαλύψεις, δεν αρκεί και είναι δύσκολο να ικανοποιηθούν οι απαιτήσεις κοπής υψηλής ταχύτητας υλικών υψηλής σκληρότητας και η ποικιλία των εφαρμογών καλουπιού.

Επί του παρόντος, ορισμένες ανεπτυγμένες χώρες (όπως το CemeCon στη Γερμανία, το ART-TEER στη Βρετανία, το Platit στην Ελβετία) χρησιμοποιούν ένα μη ισορροπημένο μαγνητικό πεδίο για να αντικαταστήσουν το αρχικό ισορροπημένο μαγνητικό πεδίο, τροφοδοτικό ενδιάμεσης συχνότητας 50 KHz για να αντικαταστήσει το αρχικό τροφοδοτικό DC, παλμός Το τροφοδοτικό έχει αντικαταστήσει την προηγούμενη τάση πόλωσης συνεχούς ρεύματος και έχει υιοθετηθεί η τεχνολογία βοηθητικής ανόδου, έτσι ώστε η τεχνολογία διασκορπισμού μαγνητρονίων να έχει ωριμάσει σταδιακά και να έχει εφαρμοστεί στην επικάλυψη καλουπιού σε μεγάλες ποσότητες. Οι επικαλύψεις που έχουν παραχθεί σταθερά τώρα περιλαμβάνουν κυρίως TiAlN, AlTiN, TiB2, DLC, CrN, Zhejiang, Guangdong, Jiangsu, Guizhou, Zhuzhou και άλλα μέρη στην Κίνα έχουν επίσης διαδοχικά εισαγάγει τέτοιο εξοπλισμό, ο οποίος έχει τη δυνατότητα να πυροδοτήσει πυρκαγιά στο λιβάδι .

www.superbheater.com